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雙電測(cè)四探針測(cè)試儀的用途

更新時(shí)間:2016-06-22  |  點(diǎn)擊率:590

雙電測(cè)四探針測(cè)試儀/四探針測(cè)試儀/四探針檢測(cè)儀/雙電測(cè)四探針測(cè)定儀/雙電測(cè)四探針電阻率測(cè)試儀  型號(hào):GSZ-RTS-9

采用了四探針雙電測(cè)組合(亦稱(chēng)雙位組合)測(cè)量新,將范德堡測(cè)量方法推廣應(yīng)用到直線(xiàn)四探針上,利用電探針、電壓探針的變換,在計(jì)算機(jī)控制下行兩次電測(cè)量,能自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。因而每次測(cè)量不知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測(cè)量都是對(duì)幾何因素的影響行動(dòng)態(tài)的自動(dòng)修正,因此顯著降低了幾何因素影響,從而提了測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些,用目前大量使用的常規(guī)四探針測(cè)量方法所的儀器是無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。

是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶(hù)程序。測(cè)試程序在計(jì)算機(jī)與RTS-9型四探針測(cè)試儀連接的狀態(tài)下,通過(guò)計(jì)算機(jī)的并口實(shí)現(xiàn)通訊。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的測(cè)試數(shù)據(jù),把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析

 測(cè)量范圍

 電阻率:10-5105 Ω.cm(可擴(kuò)展);  
 
方塊電阻:10-4106 Ω/□(可擴(kuò)展);
 電導(dǎo)率:10-5105 s/cm;
 電阻:10-5105 Ω

可測(cè)晶片厚度

 ≤3mm

可測(cè)晶片直徑

 140mmX150mm(S-2A型測(cè)試臺(tái));
 200mmX200mm(S-2B型測(cè)試臺(tái));
 400mmX500mm(S-2C型測(cè)試臺(tái));

恒源

 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA10mA、100mA六檔,各檔電連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

 量程及表示形式:000.00199.99mV;    
 分辨力:10μV;
 輸入阻抗:>1000MΩ;
 度:±0.1%
 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性、量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本標(biāo)

 間距:1±0.01mm;
 針間緣電阻:≥1000MΩ
 機(jī)械游移率:≤0.3%;
 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm;
 探針壓力:516 牛頓(總力)

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

 (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( JJG508-87)

 0.01Ω、0.1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差

(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度

 ≤4%

計(jì)算機(jī)通訊接口

 并口

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

 溫度:23±2;
 相對(duì)濕度:≤65%;
 無(wú)頻干擾;
 無(wú)強(qiáng)光直射;